高純氬在半導體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護氣體;可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用惰性氣體;在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。充液氬前要用少量液氬預冷。貯存,停產(chǎn)期間,由于自然揮發(fā)的氮氣留在槽內(nèi),內(nèi)筒壓力會逐漸升高,當內(nèi)筒壓力達到0.8Mpa時,應適當打開放空閥泄壓。液氬罐嚴禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。放進或取出冷凍物品時,要盡量使罐口打開時間短,以減少液氬消耗,也不要把提筒完全提出來。
液氬罐嚴禁在容器蓋上放置物體和密封頸口。放進或取出冷凍物品時,要盡量使罐口打開時間短,以減少液氬消耗,也不要把提筒完全提出來。液氬在鈦、鈷及其他活性金屬的生產(chǎn)中用作屏蔽氣;在黑色冶金中,氬氣用于吹煉特種鋼,以提高鋼的質(zhì)量,特別是不銹鋼制造中消耗大量氬氣。液氬 無色、無味、無臭、無毒的惰性氣體,化學性質(zhì)極不活潑。在21.1℃和101. 3kPa下氣體相對密度1.38。氣體密度1- 650kg.m-3 (21.1℃,101. 3kPa),液體密度1394.Okg.m-3(一185.9℃,101. 3kPa)。
高純液氬極易揮發(fā),在使用的過程中要保持密封的,將其放置在通風條件良好的地方,防止其泄露后產(chǎn)生的氣體散發(fā)到工作環(huán)境中。液氬操作處置注意事項:密閉操作,加強通風,設有事故強制通風設備,操作人員必須經(jīng)過專門培訓。持證上崗,操作時嚴格遵守操作規(guī)程。充裝時要控制充裝速度。充裝時間不少于30min。液氬泄漏嚴防傷。液氬用于特殊場所的滅火氣體;重要的玻璃專柜中的填充保護氣體;使用特定的方法可以使氬氣離子化并且發(fā)光,用于等離子燈和粒子物理學中的能量器;