滅菌特種氣體由于它的活潑型，殺菌力強、殺菌譜廣，對物品損害輕微等優(yōu)點，已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一，特種氣體是指在特定領(lǐng)域中應用的對純度、品種、性質(zhì)有特殊要求的氣體，隨著科學研究、自動化技術(shù)、精密檢測（特別是微電子技術(shù)）的發(fā)展，特種氣體成為工業(yè)氣體市場規(guī)模增長新動力，廣泛應用于半導體、LED、光纖光纜等新興行業(yè)。特種氣體的重要性：正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大，應用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。
特種氣體指半導體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體，是一種高度均勻，穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體，它可以是單一的純氣體或高純氣體，也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質(zhì)之一，故又稱為氣體標準物質(zhì)。特種氣體分類：從應用領(lǐng)域劃分，特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種，廣泛應用 于電子半導體、化工、環(huán)保和高裝備制造等領(lǐng)域。
特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。特種氣體的儲存注意事項：儲存高壓氣體≥300m，液化氣≥3000kgs時，儲存場所需要經(jīng)過縣級以上相關(guān)單位批準。高壓容器儲存場所出入口及顯眼處，需設有安全警示牌。特種氣體指半導體生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，
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