由于氣體分為單質(zhì)氣體、多元?dú)怏w、混合氣體和有機(jī)化合物氣體等,所以可將組成氣體的物質(zhì)(或元素)稱為該氣體成分。因此氣體純度的含意可理解為:除本氣體成份外,所含其它物質(zhì)的多少。氣體純度的提法有多種,如普通純、高純氣體、電子純、特純等,隨著超大規(guī)模集成電路(VLSI)和特大規(guī)模集成電路(ULSI)的發(fā)展,又有VLSI和ULSI級純的超凈氣體。這些提法都不十分確切,只是粗略的講了氣體純度的高低,沒有真正說明氣體純度的大小。
工業(yè)氣體是指氧、氮、氬、氦、氙、氫、二氧化碳、乙i炔、等。由于這些氣體具有固有的物理和化學(xué)特性,因此在國民經(jīng)濟(jì)中占有舉足輕重的地位,推廣應(yīng)用速度非??欤瑤缀鯘B透到各行各業(yè)。工業(yè)氣體用量較多的產(chǎn)業(yè),如鋼鐵、化肥、化工、玻璃及化纖行業(yè)均自建氣體生產(chǎn)設(shè)備,實(shí)行自產(chǎn)自銷的企業(yè)經(jīng)營方針,一些工業(yè)氣體用量較少的產(chǎn)業(yè),主要依靠市場購買工業(yè)氣體。因此工業(yè)氣體的液體市場正在掘起,應(yīng)用領(lǐng)域也越來越廣泛。
氦氣無色、無味、無i毒、無腐蝕性且不可燃。氦氣沸點(diǎn)–269°C,是沸點(diǎn)i低的氣體,因此液氦也是地球上冷的物質(zhì)。氦氣根據(jù)純度分為工業(yè)氦、純氦、高純氦、超純氦;根據(jù)狀態(tài)可分為氣氦與液氦。液氦應(yīng)用在各種先進(jìn)的領(lǐng)域作為制冷劑,包括磁共振成像(MRI)和核磁i共振(NMR)中的超導(dǎo)、粒子物理學(xué)和其他低溫應(yīng)用領(lǐng)域。氦氣的特殊性質(zhì)也被用于各種行業(yè)和工藝,包括潛水、起重、檢漏、汽車工業(yè)、半導(dǎo)體生產(chǎn)、切割和焊接、納米技術(shù)和分析等。